光电技术研究所

光电技术是现代物理技术与信息技术高度融合的产物,其作为信息化、智能化、网络化、自动化与数字化的核心,在促进国家经济、科学和工程科技的发展中发挥了重要作用,并引领显示、传感、通信、医疗等领域的发展。目前光电技术正朝着新机理、新方法、新材料、新工艺、新器件迅速发展,并涌现出多前沿、多维度、多谱段、多功能、多学科发展的态势。

光电技术研究所以具有重要先导意义和战略意义的新型信息器件、半导体装备为重点抓手方向,以智能感知系统和激光器为核心方向,柔性电子和微纳光学为两大重点特色驱动,以柔性与微纳传感、新体系传感器、微纳光源、微纳光电子芯片为优先方向,面向生命健康、先进制造、信息传感等领域应用需求,深耕关键核心基石技术,突破当下“卡脖子”技术难题,并通过前沿技术、基石技术和关键技术的联动突破,推动我国光电技术发展和产业进步。

光电技术研究所协同创新体系将根据领域发展前沿趋势,面向国家重大战略需求,同时结合京津冀地区学科和产业化的特点及优势,进行光电技术创新研究,推动上游原材料、芯片、元器件和重要装备制造业的发展,以及中游模组、下游整机制造业的发展,使我国光电技术产业链不断成熟完善。

联系人:张博

邮箱:zhangb@jingjinji.cn


实验室
科研团队
  • 戴军

    戴军

    助理研究员
    DAIJUN

    博士,京津冀国家技术创新中心光电技术研究所助理创新师。

    2010年-2014年 哈尔滨工程大学电子信息工程学士学位

    2014年-2015年 北京航空航天大学电子科学与技术硕士学位

    2015年-2021年 北京航空航天大学信号与信息处理博士学位

    2021年-至今 京津冀国家技术创新中心光电技术研究所助理创新师

    在校期间前后获得北京航空航天大学优秀研究生、北京航空航天大学优秀团员称号、中国电子学会真空电子学分会第二十一届年会青年优秀论文三等奖和英国工程物理学会博士论坛最佳论文奖两次学术奖励。

    研究方向:微纳光电子、微纳光源、等离子体紫外光源。

    樊华

    樊华

    助理创新师
    助理创新师

    博士,京津冀国家技术创新中心光电技术研究所助理创新师。

    2017年-2021年 加拿大滑铁卢大学化学纳米技术博士学位

    2022年博士后出站于加拿大滑铁卢大学

    2022年-至今 京津冀国家技术创新中心光电技术研究所助理创新师

    研究方向:柔性电极,智能传感。

    科研成果:1.发表SCI论文共9篇;2.参加Mitacs accelerator两个项目。

    耿钰粼

    耿钰粼

    助理创新师
    GENGYULIN

    2022年英国爱丁堡大学博士毕业,专业方向为集成微纳系统工程,研究方向为低维纳米材料复合力传感晶体管。后续在爱丁堡大学开展短期博后,研究MEMS多维触觉传感器。在英国博士/博后期间,在微纳加工、MEMS力传感器、低维纳米半导体晶体管方向取得优秀成果,发表数篇论文于ACS AMI、Nanoscale Advances、Nanotechnology等国际期刊。

    2022年全职加入京津冀国家技术创新中心,负责工程化研发以及发掘国内外前沿项目、并推进产业化。 另外, 在项目发展、筹备等方向,已协助国内先进单位,在新型5G滤波器、低维纳米器件、新型计算系统等领域推进多个项目立项。


    何恩方

    何恩方

    助理创新师
    HE ENFANG

    博士,京津冀国家技术创新中心助理创新师

    2017年-2017年 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司工艺整合工程师

    2018年-2022年 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院博士学位

    2022年-2023年 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司芯片研发工程师

    2023年-至   今 京津冀国家技术创新中心光电技术研究所助理创新师

    研究方向:1、OLED材料及器件;2、光伏材料及器件;3、芯片研发。

    科研经历: 参与国家自然科学基金、科技部重点研发计划以及哈尔滨工业大学创新基金、重点实验室基金等项目,以第一作者发表SCI论文8篇,获授权的国家发明专利2项。

    工作经历:SMIC2022届技术培生,参与28 nm、40 nm、55 nm、110 nm特色工艺平台的研发。

    黄如

    黄如

    教授
    HUANGRU

    1991年获东南大学电子工程系学士学位,1994年获东南大学电子工程系硕士学位,1997年获北京大学博士学位。

    现任北京大学信息科学技术学院教授,2015年12月7日,当选中国科学院信息技术科学部院士。

    长期从事半导体新器件新工艺研究。面向不同电路系统要求和不同集成电路技术代,提出并研制出了准SOI新结构器件、BOI FinFET新结构器件、肖特基-隧穿混合控制新机理器件以及逻辑-存储可融合兼容的新型器件;提出了可大规模集成的围栅纳米线器件新工艺方法,系统揭示了器件关键特性的新变化及其物理根源;建立了纳米尺度器件特性表征体系,提出了新的涨落性/可靠性分析表征方法及模型。部分成果转移到国内外著名IC公司。在微电子器件领域标志性国际会议IEDM、VLSI和标志性期刊EDL、TED上发表70余篇论文(自2007年以来连续9年在IEDM上发表论文22篇);研究成果连续3次被列入国际半导体技术发展路线图ITRS;应邀做国际会议大会和特邀报告30余次;获150余项授权发明专利(其中授权美国专利29项)。

    曾获国家技术发明二等奖、国家科技进步二等奖、教育部自然科学一等奖、教育部科技进步一等奖、北京市科学技术一等奖(2次)、中国青年科技奖等多项国家和省部级奖励。担任国家基金委创新研究群体学术带头人,入选教育部长江特聘教授、国家杰青、国家百千万人才工程国家级人选等。

    李海军

    李海军

    特聘副教授、博导
    LI Haijun

    京津冀国家技术创新中心光电技术研究所研究员,第十四批北京市海外高层次人才项目北京市特聘专家、国家级人才计划创新类人才。吉林大学微电子学与固体电子学专业理学博士。1997年参加工作,历任中国电子科技集团公司第13研究所(1997.08-2008.08)高级工程师、新加坡南洋理工大学(2008.09-2011.01)研究员、美国密歇根大学(2011.02-2021.12)研究员。曾主持及参与了涉及MEMS技术领域的20余项 “863”、“军事预研”、“军事新品”等国内重大课题项目,为国家重点工程研制配套产品近20种,获省部级科技奖4项;曾主持及参与了涉及生物医学成像领域的10余项NIH支持项目及国际合作项目,研制了基于MEMS激光扫描技术的单轴共聚焦、双轴共聚焦、宽视场白光/荧光、双光子、光声等多种新型内窥显微成像系统。


    研究方向:半导体(含集成电路、高端芯片)、生物医药及高端医疗设备

    研究重点:

    1. 微纳传感及MEMS致动;

    2. 微光机电系统;

    3. 生物医学显微成像微小型化及内窥系统

    招生需求:具有机械电子工程、光学工程、电子科学与技术及信号与信息处理等学科背景;具有机电或光机电系统研制经验,了解机械加工,熟悉光学和机械设计、掌握控制及信号处理电路的设计及编程。

    电子邮箱:lihj@jingjinji.cn

    赖建诚

    赖建诚

    创新师
    LAIJIANCHENG

    博士,京津冀国家技术创新中心光电技术研究所创新师

     

    2008-2012 大连理工大学 应用化学专业 学士学位

    2012-2018 南京大学 化学专业 博士学位

    2018-2019 南京大学 化学专业 博士后

    2019-2023 斯坦福大学 化学工程系 博士后

    2023-至今  京津冀国家技术创新中心光电技术研究所,创新师

     

    目前共发表学术论文45篇,7篇入选ESI高被引论文,引用次数2600余次,H因子26。其中,以第一作者和共同第一作者发表学术论文8篇,包括Nature Energy 1篇,Nature Communications 2篇,Advanced Materials 1篇,PNAS 1篇,Matter 1篇,单篇最高引用342次。已有10项成果在多个国家申请发明专利共19件,已获授权发明专利10件(中国专利7件,美国专利2件,日本专利1件)。部分成果正在进行产业转化。

     

    作为主要负责人,承担国家重点研发计划1项,国家自然科学基金青年科学基金1项,博士后基金2项。作为项目骨干,参与海外项目4项。长期担任功能材料和器件领域期刊Materials Today Chemistry、Materials & Design、Sensors、Actuators等期刊审稿人。任Polymers和Frontiers in Bioengineering and Biotechnology等期刊客座编辑。长期与美国斯坦福大学、宾夕法尼亚大学、罗格斯大学、佐治亚理工学院,日本东京大学,韩国KAIST研究所等高校和科研院所保持着良好的国际合作关系,与国内知名柔性功能材料与器件团队保持良好合作关系。

     

    研究方向与人员需求:柔性功能材料与器件(传感器、驱动器和触觉界面)、功能自修复高分子材料与器件、高性能柔性锂电池材料。欢迎对柔性功能材料与器件的基础研究和应用研究方向感兴趣的化学、材料、电子、机械、计算机等相关专业研究生和博士后加入。


    李嵘峰

    李嵘峰

    助理创新师
    LIRONGFENG

    博士,京津冀国家技术创新中心光电技术研究所助理创新师。

    2003年-2007年 浙江工业大学材料科学与工程学士学位

    2008年-2011年 兰州理工大学材料学硕士学位

    2011年-2016年 北京航空航天大学材料物理与化学博士学位

    2017年-2019年 清华大学材料物理与化学博士后

    2020年-至今 京津冀国家技术创新中心光电技术研究所助理创新师

    作为主要参研人员,参与国家高技术研究发展计划(863)、国家重点基础研究计划(973)、国防科技创新特区项目、国家自然科学基金重点项目、面上项目等多项研究课题。研究成果涉及可降解NO生物传感器、多巴胺光电一体传感器、可降解生物电池、脑机接口材料及器件、瞬态安全器件等领域,研究成果发表于Nat. Commun., Small, J. Power Sources等期刊,担任多家SCI期刊审稿人。

    研究兴趣:生物功能材料、生物化学传感材料与器件、柔性电子材料及器件、瞬态电子材料。

  • 刘学松

    刘学松

    创新师
    LIUXUESONG

    博士,京津冀国家技术创新中心光电技术研究所创新师。 

           2004-2008 上海交通大学光信息科学与技术专业学士学位 

      2008-2012 上海交通大学光学工程专业博士学位 

      2013-2015 北京国科世纪激光技术有限公司博士后 

      2015-2019 中国科学院光电研究院副研究员 

      2019-2022 美国Photonics Industries International Inc.公司高级研发工程师,中国分公司研发总监      

           2022-2023 中科先为激光科技(北京)有限公司研发总监 

           2023-至今 京津冀国家技术创新中心光电技术研究所创新师


           主要研究方向:高功率、高重频超快激光器,低成本、小型化超快激光器、超快激光材料精密加工工艺,高功率脉冲光纤激光器和反谐振空心光纤脉冲压缩技术等。至2023年以第一作者和通讯作者身份在Optics Express, Journal of Lightwave Technology等光学期刊发表SCI论文10篇。曾先后获得2014年中国博士后科学基金特别资助,2015年科技部“创新人才推进计划重点领域创新团队”核心成员称号,2016年国家自然科学基金青年基金,2020年中国科学院杰出科技成就奖(主要完成者)等。首创的基于全大模场光纤的超短激光脉冲种子源具有脉宽窄、成本低、结构简单、工作稳定可靠等优势,成功解决了企业关切,并大规模应用于美国公司高端超快激光器产品。



    刘泽文

    刘泽文

    高级创新师
    LIUZEWEN

    刘泽文,教授,博士生导师,安徽肥东人,本科毕业于中国科学技术大学。 1997年法国巴黎第十一大学博士毕业后回国工作。曾任清华大学微电子所微纳器件与系统研究室副主任,微电子学研究所副所长等职。中国电子学会和中国微纳技术学会高级会员,多次担任自然科学基金, 国家重大专项和自然科学奖评审专家。曾经获得清华大学优秀教师,清华大学优秀博士生导师等称号。在国内外学术期刊和会议上发表学术论文100多篇,拥有发明专利30多项。目前的主要研究方向是MEMS及微纳系统,主要研究领域包括:

    1. 用于无线通讯的射频和微波MEMS器件研究

    2. 用于DNA测序的纳米技术研究

    3. 集成智能传感器研究

    任梅珍

    任梅珍

    助理创新师
    RENMEIZHEN

    博士,北京协同创新研究院光电技术研究所助理创新师。

    2006年-2010年,吉林大学微电子学学士学位;

    2010年-2013年,中国科学院半导体研究所电子与通信工程硕士学位;

    2016年-2019年,中国科学院半导体研究所物理电子学博士学位;

    2020年-2022年,北京量子信息科学研究院光量子通信与器件团队博士后;

    2023年-至今,北京协同创新研究院光电技术研究所助理创新师。

    研究方向:光量子集成芯片,芯片孤子光频梳,氮化硅和薄膜铌酸锂器件等

    科研成果:发表SCI论文6篇,发明专利6篇

    作为主要参研人员,参与研制的光纤到户用PLC分路器、AWG和VOA芯片已成功实现量产,实现了光通信无源芯片的国产化和进口替代。博士和博士后的研究成果拓展了半导体光电子器件(如硅基AMZI结构、偏振调制器件、薄膜铌酸锂高速调制器件等)在量子领域的应用。


    石泾波

    石泾波

    助理创新师
    SHIJINGBO

    博士,北京大学信息科学技术学院电子学系特聘副研究员。

    2005年,在吉林大学电子科学与工程学院学习,获得学士学位;2007年,在吉林大学电子科学与工程学院学习微电子学与固体电子学,获得硕士学位;2013年,进入在复旦大学微电子学院学习微电子学与固体电子学,获得博士学位;2008-2013年,在東北大学(日本)电気通信研究所担任研究助理;现为北京大学信息科学技术学院电子学系特聘副研究员,北京协同创新研究院担任独立项目负责人。

    研究兴趣:面向光互连/光通信的高速集成电路设计、低功耗高集成度的光学传感芯片设计。

    科研或企业项目经历:主要开展面向光互连/光通信的高速集成电路设计、低功耗高集成度的光学传感芯片设计等领域研究工作。先后主持参与自然科学基金、上海市硅基光电子重大专项等多个国家和省部级项目,获批国际专利1项。自然科学基金面上项目“CMOS工艺下高速光电接口接收机关键电路技术的研究”;自然科学基金重点项目“近阈值集成电路集成理论与协同设计技术”;上海市科委项目“面向下一代物联网数据通信的超低功耗超高速光电互联技术”;上海市科技重大专项-子项,“硅基高速光互联用集成电路心片的产业化”;科技部光电重点专项-子项“100G/400G光收发模块专用驱动与放大芯片”等。获得的专利:S. Masui, J. Shi, “Band pass filter and calibration method for band pass filter,” US Patent # 20120212288(出售给日本富士通公司)。

    因研究方向高度交叉性,专业背景视申请者具体情况而定,欢迎微电子、电子工程、光学工程、材料、物理等相关专业学生;具有微电子器件、半导体器件开发相关经验,有流片经历者优先考虑。

    王玮

    王玮

    教授
    WANGWEI

    博士,北京大学信息科学技术学院微纳电子学研究院教授。

    2005年清华大学获得博士学位,之后加入北京大学微纳电子学研究院,并于2007-2008年、2014-2015年在美国加利福尼亚大学戴维斯分校(潘挺睿教授)、加利福尼亚理工学院(戴聿昌教授)访问。

    研究领域:微纳流控技术、聚合物微纳加工方法、临床微纳系统、热管理

    科研成就:申请或授权20余项发明专利,发表文章100余篇。

    徐歌

    徐歌

    助理创新师
    XUGE

    博士,京津冀国家技术创新中心光电技术研究所助理创新师。

    2019年-2023年 北京理工大学仪器科学与技术博士学位

    2023年-至今 京津冀国家技术创新中心光电技术研究所助理创新师

    2022届北京理工大学美国国际光学工程学会(SPIE)学生分会主席

    研究方向:光电智能感知,图像信号处理,深度学习

    科研成果:1. 发表SCI及国内光学期刊论文共6篇;

    2.申请国家发明专利3,授权国家发明专利1项;

    3.2021届International Conference on Optical Instruments and   Technology(OIT) 学术会议最佳学生论文奖。


    徐红星

    徐红星

    院士
    XUHONGXING

    中国科学院院士,武汉大学物理科学与技术学院教授、博士生导师。

    长期从事等离激元光子学、纳米光学、单分子光谱和纳米光芯片等前沿领域的研究,做出了开创性和系统性的工作。在实验上首次发现了金属纳米结构间隙的巨大电磁场增强效应,是超灵敏光谱传感的基础,也是其它基于纳米间隙效应研究的物理基础;揭示了金属纳米线及其网络结构中表面等离激元传播和发射的基本特性和机理,实现了纳米光逻辑、光路由等功能;最近把等离激元共振的灵敏度提高到亚皮米精度。他在国际著名科学杂志发表论文200余篇,被引用16000余次(web of science数据),单篇引用超过100次的39篇,h因子61。其中关于单分子表面增强拉曼光谱的研究有两篇论文分别被引用1900余次(Physical Review Letters 1999, 83, 4357)和1360余次(Physical Review E 2000, 62, 4318,被选为该杂志创刊以来的里程碑论文)。他已作国际会议邀请报告70余次;作为会议主席组织了十余次著名国际学术会议,担任多个重要国际学术会议的指导委员会或程序委员会委员;曾任Nanoscale和Optics Express副主编,任eLight、Nanoscale、Nanophotonics、Frontiers of Physics等期刊咨询委员会或编委会委员。

    主要研究方向:纳米光学、等离激元光子学、表面等离激元、表面增强拉曼光谱、针尖增强拉曼光谱、等离激元纳米波导、纳米光芯片等。

    课题组主页:http://np.whu.edu.cn/

    夏善红

    夏善红

    所长
    XIASHANHONG

    博士,中国科学院电子学研究所研究员、博士生导师,京津冀国家技术创新中心光电技术研究所所长。

    1978年-1983年 清华大学无线电电子学系学士学位

    1983年-1986年 中国科学院电子学研究所硕士学位

    1991年-1994年 英国剑桥大学工程系电子工程博士学位

    1998年 赴香港科技大学电机与电子工程系进行短期合作研究

    2002年-2004年 获美国加州大学伯克利分校Berkeley Scholarship,多次赴伯克利传感器与执行器中心(BSAC)开展合作研究工作。

    1986年-1990年 在中国科学院电子学研究所工作,历任研究实习员、助理研究员;

    1995年-2021年 在中国科学院电子学研究所工作,历任副研究员、研究员、博士生导师、研究室副主任、研究室主任、副所长、传感技术联合国家重点实验室主任。

    在电场传感器、微传感集成芯片系统等研究领域取得多项创新性研究成果,部分产品已批量应用。

    研究领域:微纳传感器、微传感器集成芯片系统。

  • 夏洋

    夏洋

    研究员,教授,高级创新师,副所长
    XIAYANG

    博士,中国科学院微电子研究所研究员,博士生导师,京津冀国家技术创新中心光电技术研究所高级创新师。

    1983年-1987年在江西师范大学任教,负责近代物理实验室建设和教学工作。

    1990年-1994年在北京航空材料研究院工作,从事快速凝固铝合金、金属基复合材料研制工作。1998年-至今,在中科院微电子研制所工作,从事超大规模集成电路研究,研究员,博士生导师。2002年兼任科技处处长,负责微电子所科研、开发和质量管理。2004年兼任所长助理。

    2002年-2005年任两届国家自然基金委信息科学部专家

    2002年-2004年曾任国家973咨询专家组专家(已换届),中国电子学会半导体及集成技术分会副秘书长。

    2022年8月-至今 京津冀国家技术创新中心智能制造研究所高级创新师

    研究方向:微电子工艺及装备

    承担科研项目情况:

    1990-1994年完成快速凝固高强铝锌合金,快速凝固中强低密度铝锂合金,快速凝固中强耐高温铝铁合金系列研究,为航空材料的应用提供了新的体系。首次提出复合型粉末高性能阻尼铝合金功能材料。

    1995-1998年在国内首次完成实用型磁阻式计算机硬盘读出头的研制,同时利用MEF观测到微细软磁磁畴的精细结构。

    1998年至今,作为主要参加人完成超大规模集成电路关键工艺研究(0.25微米),高性能栅长27纳米CMOS器件及关键工艺技术研究,获北京市科学技术一等奖,国家发明二等奖。作为负责人完成国家自然基金重点项目“ULSI中铜互连技术研究”,为我国首次自主研究铜互连技术。完成国家973项目“磁性存储器研究”,现为“下一代高清晰度平板显示基础研究”的课题负责人,”特种功率器件”项目首席专家,自然基金重点项目”等离子体注入机” 负责人。

    获奖及荣誉:航空部科技进步三等奖一项、北京市发明一等奖一项。

    闫江

    闫江

    高级创新师
    YANJIANG

    2017年 - 至今      北方工业大学

    2009年 - 2017年   中国科学院微电子研究所

    1999年 - 2009年   英飞凌公司(Infineon)美国研发总部

    1992年 - 1995年   美国德克萨斯大学微电子中心

    1986年 - 1992年   中国科学院微电子研究所

    闫江博士在微电子领域拥有三十多年的工作经历。在国际著名半导体公司英飞凌(Infineon)工作的十年期间,参与和负责了与IBM, 三星, Globalfoundries, 东芝, STMicroelectronics, 台湾联华电子(UMC)等公司的联合研发项目, 项目覆盖了从90纳米,65纳米,45纳米到32纳米CMOS全套产品集成工艺技术。

    闫江博士2009年全职回国后任职于中国科学院微电子研究所,承担了国家重大科技专项课题“22纳米关键工艺技术先导研究与平台建设”,带领四十余人的研发团队在工艺平台建设,关键工艺模块的开发,集成工艺及器件研制等方面开展了大量卓有成效的工作。在国内首次成功开发出后高K后金属栅的HKMG关键工艺模块,研制的针对22纳米技术代的CMOS器件的各项技术参数达到国际先进水平,其成果被新华网和EE TIMES等国内外新闻媒体做了报道。

    2017年,闫江博士入职北方工业大学,先后担任电子信息工程学院和高精尖创新研究院的院长,承担了多项北京市和国家自然科学基金面上课题,以及若干企业横向开发项目,帮助学校与国内外超过20家企业建立了产学研合作关系。

    闫江博士对超大规模集成电路技术有非常全面和深入的了解,尤其在集成工艺和CMOS器件方面有丰富经验和卓越成就。拥有四十余项美国授权发明专利,五十余项中国授权发明专利,发表的学术论文超过六十篇。

    闫江博士获得中国科学院2014年度杰出科技成就奖和北京市2016年度科学技术奖一等奖。


    于晓梅

    于晓梅

    博士,高级创新师
    YUXIAOMEI

    博士,北京大学教授、博士生导师,京津冀国家技术创新中心光电技术研究所高级创新师。

    1978年-1982年 吉林大学电子科学系半导体物理与器件专业,获理学学士学位

    1982年-1985年 吉林大学电子科学系半导体物理与器件专业,获理学硕士学位

    1997年-2001年 北京航空航天大学材料科学系材料学专业,获工学博士学位

    1985年-1994年 北京航空航天大学应用物理系,助教、讲师

    1994年-1999年 北京航空航天大学应用物理系,副教授

    1999年-2000年 丹麦技术大学微电子中心,访问学者

    2000年-2001年 北京航空航天大学应用物理系,副教授

    2001.10-2003年 北京大学信息科学技术学院微电子学系,博士后

    2003年-2008年 北京大学信息科学技术学院微电子学系,副教授

    2008年-至今 北京大学集成电路学院,教授

    2022年-至今 京津冀国家技术创新中心光电技术研究所高级创新师

    研究领域:主要从事微纳机电系统方面的研究工作,研究方向包括:基于MEMS技术的非制冷红外和太赫兹焦平面阵列及其成像技术研究;超材料功能元件及其在红外和太赫兹成像技术领域的应用研究;微悬臂梁式生化传感器及其与CMOS电路的单片集成技术研究;硅基纳米结构和器件的制造技术研究等。

    张威

    张威

    高级创新师
    ZHANGWEI

    博士,北京大学研究员,京津冀国家技术创新中心光电技术研究所高级创新师。

    1986年 哈尔滨船舶工程学院机械系学士学位

    1994年 哈尔滨工程大学机电学院学院硕士学位

    2000年 北京大学信息科学技术学院博士学位

    1990年-2000年 电子科技集团49研究所工程师

    1996年-1997年 美国RAE SYSTEMS公司访问学者

    2003年 北京大学信息科学技术学院研究员

    2016年-至今 京津冀国家技术创新中心光电技术研究所高级创新师。

    科研或企业项目经历:主要开展MEMS传感器,MEMS技术、产品、应用及标准化等研究。

    曾完成科研项目:北京市项目“多轴力传感器”;工信部创新基金项目“MEMS湿度传感器”;科技部863项目“汽车ESP用系列微传感器”;国防项目:“振动角量传感器”、“机器人多维力传感器”、“MEMS加速度传感器”、“MEMS冲击开关”、“高精度加速度传感器”等,其中“振动角量传感器”、“机器人多维力传感器”获部级科技进步二等奖。

    曾获得专利有:MEMS压阻式伺服加速度传感器及其制备方法,ZL03104781.5;一种加工制造微电子机械制造元器件的方法,ZL03127940.6;压阻式微型气体流量计芯片及制备方法和流量计,ZL03104785.8;MEMS压阻式压力传感器芯片及其制备方法,ZL03104784.X;热扩散压阻式MEMS压力传感器芯片级老化方法,ZL200510011463.9;申请专利有:一种MEMS微加速度的结构及其制造方法,201110082218.2;压阻式大过载加速度计及其制备方法,GF保密;单片集成压阻式抗高过载三轴加速度计,GF保密;一种阵列式抗高冲击加速度传感器的结构及其制造方法,GF保密。

    学术兼职:现任中国电子学会高级会员;全国微机电技术标准化委员会(SAC/TC336)委员;仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事;担任国际电工委员会IEC/TC47/WG7和IEC/SC47F/WG3召集人。制定多项国家和国际标准。

    研究领域:MEMS传感器,MEMS技术、产品、应用及标准化。

科研成果