基于多物理场异质结效应的超级声表面波 5G 射频滤波器


基于“材料—器件—芯片”一体化技术路线,运用离子束剥离与转移技术实现大尺寸单晶压电异质集成衬底,利用异质界面“多物理场异质结”效应提高射频滤波器的性能,最终实现多频段滤波器的单片集成。成果有望突破国外企业的专利与技术垄断,实现5G滤波器的国产化替代。

  • 压电异质集成晶圆:亚微米厚度压电薄膜、大尺寸(六英寸直径)、高单晶质量、可量产

  • 综合性能优异:基于“多物理场异质结”效应的高性能滤波器,使频率提升2倍、带宽提升3倍、极低损耗、高功率容量

  • 高集成度:可在Sub-6GHz频段实现单片式集成



多款4英寸单晶压电异质集成晶圆



高性能5G滤波器



器件晶圆图