静态阴极荧光系统


本项目以扫描电镜为系统平台,开发了具有高激发能量、宽光谱范围、大激发深度的静态阴极荧光系统,实现了被观测对象的高空间分辨成像,可用于半导体、材料、地质、物理、化学、微电子等领域的科学研究,及矿石年代鉴定、电子器件缺陷位置判断等场景的工业检测。


  • 阴极荧光光谱分辨率优于1nm

  • 实现选区阴极荧光光谱采集、光谱面分布分析、阴极荧光全谱成像及单谱成像等功能



阴极荧光系统原理示意图



阴极荧光系统产品实物图



阴极荧光系统应用成果展示